三超新材：目前公司CMP-Disk在部分客户的Fab端已通过验证
界面新闻 2023-07-02 19:04:54
(资料图)
三超新材7月2日在互动平台表示，CMP-Disk市场国内目前主要被韩国SAESOL、中国台湾Kinik 和美国3M垄断，公司研发生产的CMP-Disk在国内产品中优势较为明显，目前公司CMP-Disk在部分客户的Fab端已经通过验证。
CMP-Disk的技术核心有：钻石碟表面的金刚石颗粒不能有叠砂，表面必须足够平整；表面的金刚石分布密度要足够多，保证一定的磨削能力；修整器表面的金刚石颗粒在研磨抛光垫的过程中不能脱落，以免脱落的金刚石颗粒划伤晶圆表面。
（文章来源：界面新闻）
